全自動下蠟臺(晶圓硅片清洗)
概述:適用產(chǎn)業(yè)為半導體照明(LED)--襯底工藝段、芯片工藝段;制程應(yīng)用:減薄工藝段;適用對象為¢165mm、¢245mm、¢485mm等陶瓷盤;3 Pcs/cassette,1 cassette/ Batch ;手動、自動控制模式;機臺封面采用聚
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王經(jīng)理
全自動下蠟臺
適用產(chǎn)業(yè)為半導體照明(LED)--襯底工藝段、芯片工藝段;制程應(yīng)用:減薄工藝段;適用對象為¢165mm、¢245mm、¢485mm等陶瓷盤;3 Pcs/cassette,1 cassette/ Batch ;手動、自動控制模式;機臺封面采用聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm) Or China SUS板材(厚度≧2mm) 機臺主機強度結(jié)構(gòu) 整體骨架表面噴涂處理 Or China SUS矩形材(厚度≧2mm) 機臺視窗采用透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm) Or China 鋼化玻璃(厚度≧5mm) ,配有去蠟劑恒溫系統(tǒng); 去蠟劑循環(huán)過濾系統(tǒng); 消防系統(tǒng);可結(jié)合客戶端通訊協(xié)定資料儲存、CIM系統(tǒng)、資料分析儲存建立管理; 全程自動控制,工藝生產(chǎn)過程中不用人工干預,保證產(chǎn)品性能的一致性; 多級別用戶工藝數(shù)據(jù)庫,可供用戶使用和存儲;管路系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、伺服電機及絲杠導軌等關(guān)鍵核心部件均采用進口標準產(chǎn)品,配置模組化,維護保修便利,非期貨庫存品工廠內(nèi)均建立安全存量;全程自動化控制,幾何曲線加減速運動,沖擊小、運動平穩(wěn),機械臂定位精度高;作業(yè)區(qū)內(nèi)有害氣體多種安全主動及被動保護相結(jié)合,保證操作人員作業(yè)環(huán)境及人身安全;客制化設(shè)計能力佳,高設(shè)計能力滿足客戶制程工藝需要;機械臂裝置Robot的工藝路徑種類N種(設(shè)備出廠前載入PLC內(nèi));傳送定位精度≤0.3mm, 機械臂走向右進左出’或‘左進右出’;制程控制為PLC控制方式;操作界面為全圖形化中文彩色人機界面(10.4彩屏);槽體數(shù)量根據(jù)制程工藝要求選擇定制;設(shè)備制造北京華林嘉業(yè)科技有限公司(CGB)13911568117;
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適用產(chǎn)業(yè)為半導體照明(LED)--襯底工藝段、芯片工藝段;制程應(yīng)用:減薄工藝段;適用對象為¢165mm、¢245mm、¢485mm等陶瓷盤;3 Pcs/cassette,1 cassette/ Batch ;手動、自動控制模式;機臺封面采用聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm) Or China SUS板材(厚度≧2mm) 機臺主機強度結(jié)構(gòu) 整體骨架表面噴涂處理 Or China SUS矩形材(厚度≧2mm) 機臺視窗采用透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm) Or China 鋼化玻璃(厚度≧5mm) ,配有去蠟劑恒溫系統(tǒng); 去蠟劑循環(huán)過濾系統(tǒng); 消防系統(tǒng);可結(jié)合客戶端通訊協(xié)定資料儲存、CIM系統(tǒng)、資料分析儲存建立管理; 全程自動控制,工藝生產(chǎn)過程中不用人工干預,保證產(chǎn)品性能的一致性; 多級別用戶工藝數(shù)據(jù)庫,可供用戶使用和存儲;管路系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、伺服電機及絲杠導軌等關(guān)鍵核心部件均采用進口標準產(chǎn)品,配置模組化,維護保修便利,非期貨庫存品工廠內(nèi)均建立安全存量;全程自動化控制,幾何曲線加減速運動,沖擊小、運動平穩(wěn),機械臂定位精度高;作業(yè)區(qū)內(nèi)有害氣體多種安全主動及被動保護相結(jié)合,保證操作人員作業(yè)環(huán)境及人身安全;客制化設(shè)計能力佳,高設(shè)計能力滿足客戶制程工藝需要;機械臂裝置Robot的工藝路徑種類N種(設(shè)備出廠前載入PLC內(nèi));傳送定位精度≤0.3mm, 機械臂走向右進左出’或‘左進右出’;制程控制為PLC控制方式;操作界面為全圖形化中文彩色人機界面(10.4彩屏);槽體數(shù)量根據(jù)制程工藝要求選擇定制;設(shè)備制造北京華林嘉業(yè)科技有限公司(CGB)13911568117;
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