SIMCO離子風(fēng)棒5635
概述：簡 介 5635型MP離子風(fēng)棒，是對(duì)應(yīng)用在先端半導(dǎo)體制造工程等100nm以下的微小型顆料除靜電器。
簡 介
5635型MP離子風(fēng)棒，是對(duì)應(yīng)用在先端半導(dǎo)體制造工程等100nm以下的微小型顆料除靜電器。
特點(diǎn)：
Ø 采用在世界上無與倫比的電極材料單晶硅的優(yōu)勢，避免超低顆料特性的電極材料的重金屬污染的風(fēng)險(xiǎn)。
Ø 通過獨(dú)特的MP（脈沖調(diào)制）方式，可以有效的發(fā)揮離子除電性能。
Ø 平衡的電位，即使是在距100mm的距離也可用使用的特性及靜電桿長且離子平衡度好。
Ø 通過智能控制電路，可自動(dòng)管理離子發(fā)生狀態(tài)及離子平衡度。
Ø 1/4圈可以拆卸更換電極，有助于減少維護(hù)工時(shí)。
Ø 電位波動(dòng)小的MP方式的特性，簡化了組裝。另外，電位波動(dòng)小可以保持離子平衡度在管理的基準(zhǔn)內(nèi)。
Ø 設(shè)定了適合半導(dǎo)體前工序EFEM用的除靜電棒長度。
Ø 內(nèi)置24V DC驅(qū)動(dòng)控制器的小巧緊湊型設(shè)計(jì)。
Ø 可用于全球高層次網(wǎng)絡(luò)。
產(chǎn) 品 規(guī) 格
輸入電壓
24V DC + / -10％
輸出電壓
最大可調(diào)至約13.5kv PP
安裝距離
100毫米?1000毫米（無空氣凈化）
離子生成方式
電暈放電法
PM（脈沖變調(diào)）方式 變動(dòng)頻率 1 ～ 33 Hz
離子平衡度
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